5.1 测试仪器

5.1.1 高阻测试仪

测量范围0～1×1012Ω，测量精度高于10%。

5.1.2 静电电压表

输入阻抗大于1×1012Ω的静电电压表或人体电位测试仪。

5.1.3 记录仪

记录仪误差小于0.5%，响应时间为0.2s。

5.1.4 直流电源

输出电压0～2000V连续可调，波动系数不大于±0.2%。

5.1.5 湿度计

精度为1%。