7.3 防微振

7.3.1 微振动控制的测试、分析、设计应符合现行国家标准《电子工业防微振工程技术规范》GB51076的有关规定。

7.3.2 工艺设备的防微振结构设计应根据设备制造厂商提供的振动评价方法和微振动控制容许值的要求确定，并应满足设备制造厂商对设备支承部位的动态刚度标准值要求。

7.3.3 地基勘察应符合现行国家标准《岩土工程勘察规范》GB50021和《地基动力特性测试规范》GB/T50269的有关规定。