8.2 烷类尾气处理系统

8.2.1 尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定：

1 设备的处理效率不应低于99％；

2 处理后的污染因子浓度宜在PC-TWA值以下；

3 处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25％以下。

8.2.2 采用电热式和等离子式的尾气处理设备，其内部应采用耐腐蚀、耐高温的材料。

8.2.3 尾气处理系统宜采用下列方式：

1 硅烷（SiH4）、锗烷（GeH4）宜采用热氧化和洗涤两级处理方式；

2 磷烷（PH3）宜采用热氧化和洗涤两级处理方式或干式吸附方式；

3 乙硼烷（B2H6）宜采用洗涤方式；

4 砷烷（AsH3）宜采用干式吸附方式。

8.2.4 从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道，应符合下列规定：

1 管道的材质宜采用不锈钢304或316；

2 当尾气遇低温易产生沉淀物质时，管道应采取加热措施。

8.2.5 尾气处理设备出口之后的管道宜采用耐腐蚀、导静电的材质。

8.2.6 当尾气处理设备采用直接燃烧方式时，应符合消防要求。