9.1 一般规定
9.1.1 洁净室(区)的空气洁净度等级以及洁净室形式应根据生产工艺对生产环境的要求确定。
9.1.2 洁净室(区)的气流组织应根据洁净度等级以及生产工艺要求确定。
9.1.3 净化空调系统分开设置的原则除应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的有关规定外，还应符合下列规定：
1 温、湿度基数差别大的洁净室应分开设置净化空调系统；
2 温、湿度允许波动范围差别大的洁净室应分开设置净化空调系统。
9.1.4 洁净室内的新风量应取下列两项中的最大值：
1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和；
2 保证供给洁净室内每人每小时的新风量不小于40m³。
9.1.5 洁净室与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应符合下列规定：
1 不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa；
2 洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa；
3 洁净室与室外的静压差不应小于10Pa。
9.1.6 布置在阵列、彩膜、成盒厂房核心生产区的风管、水管应采取减振措施。
9.1.5 洁净室(区)与周围的环境应保持一定的静压差，这是为了确保洁净室(区)的正常工作状态或空气平衡暂时受到破坏时，空气流只能从空气洁净度等级高的房间(区域)流向空气洁净度等级低的房间(区域)，使洁净室(区)内的空气洁净度不会受到污染空气的干扰。
本条第1款考虑到有些薄膜晶体管液晶显示器工厂的洁净室虽然洁净度等级不同，但洁净室的上、下夹层相通，此时要严格做到不同洁净度等级的洁净室(区)间的压差不小于5Pa有较大难度，且也没有必要，所以条文中规定不同等级的洁净室(区)之间的静压差宜大于或等于5Pa，但应严格保证气流是从空气洁净度等级高的房间(区域)流向空气洁净度等级低的房间(区域)。
9.1.6 薄膜晶体管液晶显示器工厂阵列、彩膜、成盒生产工序对微振有严格的要求，通常为VC-C和VC-B，所以对于管径大于或等于125mm的水管和当量直径大于或等于600mm的风管不宜布置在核心生产区。当这种情况不可避免时，应根据微振要求、管道尺寸、安装方式、管内介质流速等因素采取相应的减振措施。
