3.3 化学品供应管道系统
3.3.1 化学品供应管道系统布置应满足生产操作、安装及维修的要求，管道应采用架空敷设。
3.3.2 化学品供应管道设计流向应从下往上，化学品配送系统与使用设备为同一高度，且管路最高点存在死角时，应配备除气泡装置。
3.3.3 酸碱类、研磨液、腐蚀性溶剂化学品应设计双套管，双套管的设计应符合下列规定：
1 内管不应有焊接头；
2 三通、异径管、转接头等焊接部位应设置在箱体内；
3 非焊接接头应设置在箱体内。
3.3.4 研磨液化学品管道应缩短化学品供应设备到使用点的距离，并宜减少弯头数量。
3.3.5 非腐蚀性溶剂类化学品宜采用不锈钢管道材质，管道连接应采用氩弧焊自动焊接，非焊接连接点的部位应置于箱体内。
3.3.6 管道穿过墙壁或楼板时，应敷设在套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管间应采用不燃材料填塞。
3.3.7 管道与阀门、设备连接时，应采用与阀门、设备所配置相同的连接方式。
3.3.1 电子工厂的化学品属于危险性物质，管道架空敷设有利于管道的运行管理，可及时发现问题并便于维修。
3.3.2 化学品供应管道设计流向一般应从下往上，这主要是为了消除系统中的气泡，利于介质的流动。
3.3.3 为防止管路中的下述部位发生泄漏，规定酸碱类、研磨液、腐蚀性溶剂化学品双套管的内管应无焊接点，任何存在转接头、三通、大小头、焊接等连接点的部位都应安装在箱体内。
3.3.4 由于研磨液化学品的黏度较大，输送较为困难，规定研磨液化学品管道应尽量缩短化学品供应设备到使用点的距离，并尽量减少弯头数量。
3.3.5 非腐蚀性溶剂类化学品通常具有易燃易爆性质，同时考虑电子工艺对化学品纯度的要求，规定该类化学品采用不锈钢管道。
3.3.7 条文中关于管道与阀门、设备连接时，应采用阀门、设备相同的连结方式是指阀门、设备配置的如法兰、双卡套、扩口、入珠、焊接等连接方式。
