6 洁净工程

6.1 一般规定

6.2 高效过滤器扫描检漏

6.3 生物洁净室微生物检测

6.4 洁净室微振检测

6.5 围护结构表面导静电性检测

6.6 洁净室气流检测

6.7 非单向流洁净室自净能力检测

6.8 围护结构严密性检测

6.9 围护结构防渗漏检测