5 仪器设备

5.1 扫描电子显微镜

分辨率3.0nm（30kV）；检材条件较好时，其有效放大倍率为20倍~100000倍。

5.2 X射线能谱仪

在MnKα处的分辨率高于133eV（计数率为2500cps时），元素分析范围为4Be~92U。

5.3 其他所需设备

超声波清洗机、离子溅射仪、精密切割机、超薄切片机、干燥箱。