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10 工艺相关系统

10.1 净化区

10.2 工艺排风

10.3 纯水

10.4 废水

10.5 工艺循环冷却水

10.6 大宗气体

10.7 干燥压缩空气

10.8 真空

10.9 特种气体

10.10 化学品

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在《硅集成电路芯片工厂设计规范 GB50809-2012》内检索

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