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5 工艺设计

5.1 一般规定

5.2 三氯气硅合成和四氯化硅氢化

5.3 氯硅烷提纯

5.4 三氯气硅氢还原

5.5 还原尾气干法回收

5.6 硅芯制备及多晶硅产品后处理

5.7 分析检测

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